TM4000plus



TM4000ⅡPlus
・倍率×10～×100,000（写真倍率）
　×25～×250,000（モニター倍率）
・加速電圧5 kV、10 kV、15 kV
・画像信号反射電子、二次電子
　合成（反射電子＋二次電子）反射電子
・真空モード導電体（反射電子のみ）、標準、帯電軽減
・画像モード（反射電子）通常、影付1、影付2、凹凸
・試料可動範囲X：40 mm Y：35 mm
・最大試料サイズ80 mm（径） 50 mm（厚さ）
・電子銃プリセンタードカートリッジタイプ
　タングステンヘアピンフィラメント
・検出器
　　　反射電子：高感度4分割 反射電子検出器
　　　二次電子：高感度低真空 二次電子検出器
・自動画像調整機能オートスタート、オートフォーカス、オート輝度
・保存画像サイズ2,560×1,920 画素、1,280×960 画素、640×480 画素
・ファイル形式BMP、TIFF、JPEG
・データ表示ミクロンマーカー、ミクロン値、倍率、日付、時刻、
　画像No.WD、コメント、加速電圧、真空モード、画像モード、画像信号
・排気系　（真空ポンプ）ターボ分子ポンプ：67 L/s　1台
　　　　　　ダイアフラムポンプ：20 L/min
・操作補助機能ラスターローテーション
・イメージシフト（±50 ?m ＠ WD6.0 mm）
・保護機能過電流保護機能付、漏電遮断機内蔵
・大きさ・質量本体：330（幅）×614（奥行）×547（高さ） mm、52 kg（モータードライブステージ付）
・本体：330（幅）×617（奥行）×547（高さ） mm、52 kg（マニュアルステージ付）
・ダイアフラムポンプ：144（幅）×270（奥行）×216（高さ） mm



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